三星電子正在研發(fā)「智能傳感器系統(tǒng)」，以提高半導體良率和產能。關鍵在于精確控制生產過程中的等離子體均勻性和密度，該系統(tǒng)可測量晶圓等離子體均勻性，準確管理蝕刻、沉積和清洗工藝性能。
此舉有望緩解對外國傳感器的依賴，并提高產量。開發(fā)的智能傳感器為超小型，不影響現(xiàn)有設備空間，可在提高空間利用率的同時提高產能。未來，三星計劃擴大智能傳感器應用范圍，開發(fā)可用于各種半導體工藝的 SMART 傳感器和系統(tǒng)。
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