三星電子已開始開發(fā)“智能傳感系統(tǒng)”，旨在提高產(chǎn)量并改變半導(dǎo)體工廠的運(yùn)營方式。該系統(tǒng)主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)控和分析生產(chǎn)過程，目前可以自動(dòng)處理等離子體均勻性。三星最終計(jì)劃到2030年使其芯片工廠無需人工操作，實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化。
三星的最終目標(biāo)是到2030年擁有完全無人化的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要開發(fā)能夠管理大量數(shù)據(jù)并自動(dòng)優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)是該計(jì)劃的重要組成部分，預(yù)計(jì)將在使這些智能、全自動(dòng)晶圓廠成為現(xiàn)實(shí)的過程中發(fā)揮至關(guān)重要的作用。三星目前正在向智能傳感器等項(xiàng)目投資數(shù)千萬韓元，并希望獲得長期投資回報(bào)。
目前正在開發(fā)的智能傳感器旨在測量晶圓上等離子體的均勻性。因?yàn)榘雽?dǎo)體制造中的蝕刻、沉積和清洗等工藝的結(jié)果很大程度上受到等離子體均勻性的影響，因此在這方面的精確測量和管理至關(guān)重要。
該智能傳感系統(tǒng)的開發(fā)是團(tuán)隊(duì)合作的成果，涉及合作伙伴和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)的合作。這些新型傳感器的重要特點(diǎn)是它們的尺寸很小巧：可以安裝到現(xiàn)有的晶圓廠中，并且不需要額外的空間，這在潔凈室中非常寶貴。
值得注意的是，這些傳感器是在韓國設(shè)計(jì)和制造的。三星等韓國芯片制造商傳統(tǒng)上嚴(yán)重依賴外國設(shè)備來實(shí)現(xiàn)此類先進(jìn)工藝。開發(fā)自主的智能感知系統(tǒng)標(biāo)志著這一依賴關(guān)系的顯著改變，盡管三星使用的大多數(shù)設(shè)備仍在國外生產(chǎn)。
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