據臺媒《工商時報》報道，臺積電將在 2024~2025 年接收超 60 臺 EUV 光刻機，而其今明兩年在 EUV 光刻機上的投入將超 4000 億新臺幣(IT之家備注：當前約 896.61 億元人民幣)。
報道表示，ASML 的 EUV 光刻機目前供應緊張，從下單到交付的整體周期已達 16~20 個月。
臺積電今明兩年將分別下達約 30 和 35 臺的 EUV 光刻機訂單，這些訂單中的大部分將從 2026 年開始交付。
臺媒援引供應鏈消息指出，ASML 對 2025 年產能的規劃是 20 臺 High-NA EUV 光刻機、90 臺 EUV 光刻機和 600 臺 DUV 光刻機。
根據臺積電官方路線圖，其目前已規劃的最先進工藝 16A 將于 2026 年量產，仍采用傳統 0.33NA EUV 光刻機。換句話說，臺積電暫未考慮在量產制程中導入 High-NA。
雖然 ASML 方面已確認將在 2024 年內向臺積電交付 High-NA EUV 光刻機，但這一機臺僅用于制程開發目的。
臺媒也表示，臺積電暫無在 2025~2026 年引入量產用 High-NA EUV 光刻機的規劃。
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